中國水分測定技術(shù)現(xiàn)狀，水分測量儀，水分儀

中國儀表學(xué)會分析儀器學(xué)會濕度與水分專業(yè)委員會與中國電子學(xué)會敏感技術(shù)學(xué)會氣濕敏傳感技術(shù)專業(yè)委員會同甘肅省嘉峪關(guān)市科學(xué)技術(shù)協(xié)會合作，在嘉峪關(guān)市召開了第九屆全國濕度與水分學(xué)術(shù)交流會暨第七屆氣濕敏傳感技術(shù)交流會。會議論文反映了我國濕度、水分、氣體測量技術(shù)的水平和研究現(xiàn)狀。根據(jù)學(xué)術(shù)交流會論文的主要內(nèi)容綜述如下。
濕度測量技術(shù)
濕度是指氣體中的含水量。濕度測量技術(shù)主要涉及電容濕敏元件、濕度傳感器、濕度變送器、標(biāo)準(zhǔn)與校準(zhǔn)、傳感器測量方法、應(yīng)用研究等。
高分子薄膜電容濕敏元件
這類元件發(fā)展迅速，目前在濕度測量中應(yīng)用很廣泛。電子第 研究所盧崇考研究員就濕敏材料的選擇，元件制作工藝的設(shè)計，影響元件長期穩(wěn)定性的因素等方面，介紹了近幾年的研究成果。他認為，濕敏材料的選擇是首要的，它決定了濕敏元件的靈敏度、濕滯、溫度特性及長期穩(wěn)定性等。應(yīng)基于高分子材料吸附理論，從高分子主體結(jié)構(gòu)、極性基的選擇、吸附點的分布、交聯(lián)三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)幾方面作最優(yōu)化設(shè)計。多孔上電極是影響元件性能的另一重要因素，它決定了元件對環(huán)境濕度的響應(yīng)特性、濕滯、溫度特性及長期穩(wěn)定性。 世紀(jì) 年代出現(xiàn)的“龜裂”鉻薄膜工藝，仍是目前制作多孔上電極的較好工藝。為防止環(huán)境中污染物對元件性能的影響，應(yīng)采取防污染結(jié)構(gòu)設(shè)計。
濕滯是電容式濕敏元件的一個重要參數(shù)，但如何定義、如何用數(shù)學(xué)公式表示，如何計算、測量，目前國內(nèi)尚未統(tǒng)一，比較混亂。清華同方的郝光宗等對電容濕敏元件的濕滯進行了研究，提出了濕滯的定義與計算公式。濕滯是指在同一濕度下，升濕與降濕電容值的最大不重合度。將最大不重合度或電容差值折算成濕度就是濕滯。用公式對濕敏元件的濕滯進行計算，既簡單又適用。
濕度傳感器
微電子機械系統(tǒng)是一項可以廣泛應(yīng)用的新技術(shù)，受到世界各國的重視；微型化、集成化也是最具吸引力的技術(shù)之一。中科院電子研究所的趙湛等利用以上技術(shù)制成了微懸臂梁濕度傳感器和微型集成溫濕度傳感器。濕度傳感器是目前低濕測量中最常用的傳感器。“特性長期漂移”是該類元件最突出的一個問題。目前解決的辦法是定期進行校準(zhǔn)，一般是一年左右校準(zhǔn)一次，有的則要半年甚至三個月校準(zhǔn)一次。研究表明，這種不穩(wěn)定性是因為使用的濕敏層為 。為從根本上解決問題，金懋昌教授等在 年報道了用陽極閃火沉積法制備多孔濕敏膜的方法，對濕敏膜濕度傳感器的特性研究，表明用這種方法制備的濕度感器長期穩(wěn)定性較好。

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